Продукты для микроэлектроники
ООО «Пермская химическая компания» производит и поставляет свои партнерам во всем мире следующие продукты для микроэлектроники:
- Электронные газы для плазмохимического травления стандартов 10-25-45 нм.
- Гексафторбутадиен (99,995%)
- Гексафторбензол
- Электронные газы для нанесения изоляционных слоев в результате осаждения Карбида Кремния или Оксида Кремния
- Монометилсилан
- Триметилсилан
- Органометаллический прекурсор для осаждения Бора и Углерода. Применяется при производстве р-слоев аморфного кремния в p-i-n Thin Film Photovoltaic (TFPV).
- Триметилбор